BAG402 中真空至超高真空真空计

BAG402 中真空至超高真空真空计

INFICON 的单一 Bayard-Alpert 热电离真空计 BAG402，测量范围从 5×10-10 mbar 至 2.7×10-2 mbar（3.75×10-10 Torr 至 5×10-2 Torr）。选择 INFICON BAG402 紧凑型主动真空计套装，在低成本、可重复的工艺过程中进行基础压力测量。*的双丝极结构提供更优异的精度、长期稳定性 和长使用寿命。
益处

测量范围从 5×10-10 mbar 到 2.7×10-2 mbar（3.75×10-10 Torr 到 5×10-2 Torr）

出色的可重复性，在 10-8 … 10-2 mbar 工艺压力范围内为 5%

过压检测保护，防止灯丝烧毁

两根长寿命氧化铱灯丝

发射电流选择，降低控制的繁琐

植入校准数据的传感器元件可确保规管的高精准性，并且易于更换

符合RoHS

典型应用

半导体工艺和传送腔室的压强测量

工业镀膜

从低真空到超高真空范围的普通真空测量及控制
类型 BAG402

测量范围 (空气, 氧2, 一氧化碳, 氮2)       5×10-10 … 2.7×10-2

精度

10-8 … 10-2 毫巴    % of reading    ±15

重复性 

10-8 … 10-2 毫巴    % of reading    5

除气 (1)

p < 7.2 × 10-6 mbar    electron bombardment, max. 3 min

压强, zui大   bar (absolute)  2

温度

操作 (环境)  °C 0 … +50

储存 °C -20 … +70

法兰口的烘烤，不带BPG402-S电子单元    °C 80

供电电压     +20 … +28

输出信号模拟 (4)

输出信号 V   0 … +10

测量范围 log / lin   V   0 … +9

电压 vs. 压强    volts per decade    1

错误信号 V   > +10

负载阻抗, zui小   kΩ  10

第二模拟输出     none

设点继电器  

设定点数量       none

范围   

继电器触点     

滞后   

触点额定值     

数字功能     degas and emission

接口 (数字) (2)      Diagnosis port

发射控制     manual

灯丝    two Yttriumoxid (Y2O3) coated Iridium (Ir)

灯丝状态 / 继电器    LED / relay

电气连接     D-Sub, 9-pin, male

电缆长度，zui大值 m (ft.) 100 (330)

暴露于真空中的材料       Y2O3, Ir, Pt, Mo, NiFe, NiCr, stainless steel, glass

内部容积 KF / CF cm³ (in.³) 24 (1.46) / 34 (2.1)

重量 KF / CF g   450 / 710

保护级别     IP30
353-600 BAG402 DSUB9 KF25

353-601 BAG402 DSUB9 CF40
303-333 Diagnostic cable 1.9m (P3)
354-484 备用传感器 BAG402 DN 25 ISO-KF

354-485 备用传感器 BAG402 DN 40 CF-R